WEP032 　ポスター②　 10月19日 会議室P 13:00-15:00

超伝導空洞のクリーンルーム作業で用いられる自動クリーニングシステムの開発

Development of automatic cleaning system used in clean room work of superconducting cavity

○山本 康史，平木 雅彦，梅森 健成，阪井 寛志，道前 武（高エネルギー加速器研究機構）

○Yasuchika Yamamoto, Masahiko Hiraki, Kensei Umemori, Hiroshi Sakai, Takeshi Dohmae (KEK)

高エネルギー加速器研究機構(KEK)では、2020年度に日仏協力の下で超伝導空洞のクリーンルーム作業で必須の技術であるイオンガンによるクリーニングの自動（無人）化を目的とした自動クリーニングシステムを開発した。通常、クリーニング作業は、作業者が片手にイオンガンを、もう片手でパーティクルカウンターを持ち、ボルト穴などからのダストが無くなるまでクリーニングし続ける。対象となるダストの径はこれまでは0.3µmであったが、フィールドエミッション抑制のさらなる向上のため、今回は0.1µmまでモニターすることにした。この作業は時に長時間に及ぶことがあるため、自動化を行うことで、作業者の負担を軽くすると同時に、ダスト源である作業者のアクセスを必要最小限に抑えることができる。本講演では、この自動クリーニングシステムの開発状況について報告する。