WEPP43 　ポスターセッション①　 9月2日 ポスター会場 12:40-14:40

無酸素Pd/Ti非蒸発型ゲッター（NEG）コーティングを行ったベローズ、ステンレス箔の性能評価

Evaluation of bellows and foils coated with oxygen-free Pd/Ti nonevaporable getter (NEG)

○狩野 悠，小川 忠良，矢部 学，大島 和馬，加藤 良浩（入江工研），増田 祐介（東理大），小野 真聖（東大），佐藤 裕太（横国大），中山 泰生（東理大），吉岡 和夫，吉川 一朗（東大），大野 真也（横国大），菊地 貴司（KEK），間瀬 一彦（KEK、総研大）

○Yu Kano, Tadayoshi Ogawa, Manabu Yabe, Kazuma Ohshima, Yoshihiro Kato (IKC), Yusuke Masuda (TUS), Masato Ono (UTokyo), Yuta Sato (YNU), Yasuo Nakayama (TUS), Kazuo Yoshioka, Ichiro Yoshikawa (UTokyo), Shinya Ohno (YNU), Takashi Kikuchi (KEK), Kazuhiko Mase (KEK,SOKENDAI)

加速器では、完全オイルフリー、無騒音、無振動、省スペース、省エネルギー、低コストでありながら、10-7 Pa以下の超高真空下において高い排気速度を持つ真空ポンプが求められている。KEKの間瀬らはこうした要求に応えるために新しい非蒸発型ゲッター（NEG）である無酸素Pd/Tiを開発した[1]。無酸素Pd/Tiは133℃、12時間のベーキング後に室温に戻すとH2とCOを排気し、真空排気とベーキング、大気導入のサイクルを繰り返しても排気速度が低下しない[2]。本研究では、20μm×100mm×300mmのステンレス箔6枚の両面、ステンレス製ICF114成形ベローズ1個の内面、ステンレス製ICF203成形ベローズ2個の内面に無酸素Pd/Tiコーティングを行い、その排気速度をオリフィス法で測定したので報告する。無酸素Pd/Tiをコートしたベローズ、ステンレス箔はいずれもH2とCOを排気し、加速器の超高真空排気に利用できることが立証された。本研究は（公財）東京都中小企業振興公社平成30年度新製品・新技術開発助成事業の助成のもとに行われた。 [1] T. Miyazawa et al., J. Vac. Sci. Technol. A 36, 051601 (2018). [2] T. Kikuchi et al., AIP Conf. Proc. 2054, 060046 (2019).