| WEPP28 ポスターセッション① 9月2日 ポスター会場 12:40-14:40 |
| Nb3Sn薄膜空洞用成膜装置の設計検討および加熱試験結果 |
| Design study and heating test results of Nb3Sn thin film cavity deposition system |
| ○高橋 光太郎（総研大），井藤 隼人，梅森 健成（KEK），岡田 貴文（総研大），加古 永治，許斐 太郎，阪井 寛志（KEK） |
| ○Kotaro Takahashi (SOKENDAI), Hayato Ito, Kensei Umemori (KEK), Takafumi Okada (SOKENDAI), Eiji Kako, Taro Konomi, Hiroshi Sakai (KEK) |
| KEKではvapor diffusionによるNb3Sn成膜装置の立ち上げを進めて いる．この成膜装置は加熱用真空炉，加速空洞設置用Nb容器，スズ加熱用ヒーターから構成される．これまでに，Nb容器の冷却部および内部温度分布のシミュレーションを行い，設計の検討を行った．また，成膜装置の組み上げおよび加熱試験を行う．本発表では，KEKにおけるNb3Sn成膜装置の立ち上げ，加熱試験の結果とシミュレーションの比較を報告する． |