THPP41 　ポスターセッション②　 9月3日 ポスター会場 13:10-15:10

無酸素銀/パラジウム/チタン（Ag/Pd/Ti）非蒸発型ゲッター（NEG）コーティングの性能評価

Evaluation of oxygen-free silver/palladium/titanium (Ag/Pd/Ti) nonevaporable getter (NEG) coating

増田 裕介，中山 泰生（東理大），小野 真聖，吉岡 和夫，吉川 一朗（東大），佐藤 裕太，大野 真也（横国大），○菊地 貴司（KEK），間瀬 一彦（KEK、総研大）

Yusuke Masuda, Yasuo Nakayama (Tokyo University of Science), Masato Ono, Kazuo Yoshioka, Ichiro Yoshikawa (University of Tokyo), Yuta Sato, Shinya Ohno (Yokohama National University), ○Takashi Kikuchi (KEK), Kazuhiko Mase (KEK,SOKENDAI)

非蒸発型ゲッター（NEG）ポンプは、超高真空領域においてH2および活性ガスに対する排気速度が大きいため、10-7 Pa以下の到達圧力を必要とする加速器に広く使用されている。最近我々は、133℃、12時間のベーキング後に室温に戻すとH2とCOを排気する新しいNEGである無酸素Pd/Tiを開発した[1]。また、無酸素Pd/Ti のH2とCOに対する排気速度は、真空排気とベーキング、大気導入のサイクルを繰り返しても低下しないことを確認した [2]。本発表では、無酸素Pd/Tiをコートしたうえでさらに単原子層以下のAgを蒸着した真空容器（無酸素Ag/Pd/Tiコート容器）の排気性能を四重極質量分析計を用いて評価したので報告する。150℃で3時間ベーキングしたあと室温に戻した場合、無酸素Ag/Pd/Tiコート容器では、無酸素Pd/Tiコート容器に比べて、COの分圧が低くなった。一方、H2とH2Oの分圧は、無酸素Pd/Tiコート容器の場合と比較して増加した。この結果は蒸着したAgがCOの排気を促進する一方、H2とH2Oの排気を抑制することを示す。 [1] T. Miyazawa et al., J. Vac. Sci. Technol. A 36, 051601 (2018). [2] T. Kikuchi et al., AIP Conf. Proc. 2054, 060046 (2019).