TUP131  加速器応用・産業利用  8月1日 第1,2,3,4会議室他 13:00 - 15:00
電子加速器を用いた薄膜パルスラジオリシスの検討
Consideration of thin-film pulse radiolysis using electron accelerators
 
○近藤 孝文,神戸 正雄,大島 明博,菅 晃一,楊 金峰,吉田 陽一(阪大産研)
○Takafumi Kondoh, Masao Gohdo, Akihiro Ooshima, Koichi Kan, Jinfeng Yang, Yoichi Yoshida (ISIR, Osaka Univ.)
 
加速器が発生する電子線を用いた材料の改質やグラフト重合による機能化、高解像度レジストにおけるパターン描画は、材料の表面近傍や薄膜中の放射線化学反応を基にしている。従って、本研究では実際の薄膜や表面近傍における放射線化学反応を直接観測することを目的として、ビームおよび測定系の開発を行っている。しかしながら、高エネルギー電子線と薄膜の相互作用は小さいので、非常に困難である。薄膜を用いた電子線パルスラジオリシスについて幾つかの試みを報告する。昨年、々睇兵船咫璽爐魘く集束する方法で70μm以下、▲咫璽狹轍拯未鯀やす方法で7μm以下の水試料であればピーク波長で測定可能であることを示したが、吸光度の大きな水であったこと、液体なので照射効果の蓄積が少ない等条件が甘かった。今回、他の有機材料を用いた場合、固体試料を用いた場合について報告する。